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XXY精密對位平臺
吉嘉 XXY精密對位平臺,也稱為UVW精密對位平臺或XY Theta平臺,該平臺屬于吉嘉三軸平臺系列,具有高分辨率,高重復定位精度,廣泛應用于光學測量儀器,LCD面板檢測,半導體處理,激光切割和鉆孔,平板覆膜機,數控設備,研磨設備,晶圓對準設備,曝光設備,復合機等。
產品描述
XXY對準平臺,也稱為XYθ(Theta)平臺,專為高精度對位設備而設計。它在XY平面中移動并圍繞XY平面的中心旋轉。XXY對位平臺通常稱作XYθ平臺或UVW平臺。
吉嘉提供11種型號的XXY對位平臺,并提供三種精度可供用戶選擇,分別為H級2μm,S級5μm及N級10μm。全系列行程范圍:±2.5~±5 mm。水平負載范圍:20KG~100KG。
為了滿足用戶的不同設計需求,我們提供了空心和實心兩種設計。由于采用三軸緊湊設計,大大降低了整體高度,使平臺更輕,更薄,有效節省空間。
XXY 運動模式
*A、B、C 為旋轉軸,D 為從動軸
XXY精密對位平臺全系列型號
系列 | 尺寸 | 行程 | 動作角度 | 荷重 | 精密等級 (可選) | ||
工作臺尺寸 (mm) | 高度(mm) | 底座尺寸(mm) | |||||
XXY100-45-120-X | 100X100 | 45 | 120X120 | ±2 | ±5.5° | 5 | H 級:2μm S 級:5μm |
XXY160-55-170-X | 160×160 | 55 | 170×170 | ±5 | ±5° | 30 | |
XXY160-70-170-X | 160×160 | 70 | 170×170 | ±5 | ±3° | 30 | |
XXY200-60-210-X | 200×200 | 60 | 210×210 | ±5 | ±3° | 30 | |
XXY200-75-210-X | 200x200 | 75 | 210×210 | ±5 | ±2.5° | 30 | |
XXY250-62-310-X | 250x250 | 62 | 310x310 | ±5 | ±2.5° | 30 | |
XXY250-95-250-X | 250x250 | 95 | 250x250 | ±5 | ±2° | 160 | |
XXY300-100-300-X | 300x300 | 100 | 300x300 | ±7.5 | ±2.5° | 160 | |
XXY350-100-350-X | 350x350 | 100 | 350x350 | ±7 | ±2.5° | 160 | |
XXY400-100-400-X | 400x400 | 100 | 400x400 | ±7 | ±2.5° | 160 | |
XXY450-105-450-X | 450x450 | 105 | 450x450 | ±7 | ±2° | 160 | |
XXY500-105-500-X | 500x500 | 105 | 500x500 | ±7 | ±2° | 160 | |
XXY500-125-500-X | 500x500 | 125 | 500x500 | ±12 | ±3° | 300 | |
XXY550-130-550-X | 550x550 | 130 | 550x550 | ±12 | ±3° | 30 | |
XXY600-130-600-X | 600x600 | 130 | 600x600 | ±12 | ±3° | 300 | |
XXY650-105-650-X | 650x650 | 105 | 650x650 | ±7 | ±1.2° | 160 | |
XXY650-130-650-X | 650x650 | 130 | 650x650 | ±12 | ±2° | 300 | |
XXY750-135-750-X | 750x750 | 135 | 750x750 | ±12 | ±2° | 300 | |
XXY850-135-850-X | 850x850 | 135 | 850x850 | ±12 | ±1.5° | 300 | |
XXY1000-140-1000-X | 1000x1000 | 140 | 1000x1000 | ±12 | ±1.5° | 300 | |
XXY1200-140-1200-X | 1200x1200 | 140 | 1200x1200 | ±12 | ±1.2° | 300 |
訂貨代碼范例 1:XXY160-55-170-H 訂貨代碼范例 2:XXY550-105-650-S
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XXY精密對位平臺的應用場合
XXY對位平臺廣泛應用于光學測量儀器,LCD面板檢測,半導體處理,激光切割和鉆孔,平板覆膜機,數控設備,研磨設備,晶圓對準設備,曝光設備,復合機等。
XXY精密對位平臺的安裝方法及注意事項